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NFC-5100,6000系列 全自動載具清洗機

用途
Panel FOUP
規格說明
特點概述
純水沖洗
XCDA 去水
真空乾燥
機械手工作站搬運
純水加熱器
FOUP 層距檢查
FOUP 內部乾燥度(濕度)檢查
FOUP 內部潔淨度檢查
SEMI S2/S8認證
UL認證
UPH 6pcs/hr
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