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NFC-HP510 半自動載具清洗機

用途
Panel FOUP
規格說明
特點概述
半自動載具清潔裝置，操作方便清洗效率高，並能應對多種Panel大型載具
依各載具特性可設定多種配方，配方參數可儲存
以高速旋轉/XCDA吹氣/熱風+IR烘烤乾燥載具
旋轉主軸加固設計，比進口設備更加堅固耐用
高壓無塵熱風刀去水
UPH 4pcs/hr
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