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載具清洗機
載具清洗機

NFC-H12 半自動載具清洗機

用途
4~12 inch Cassette/FOUP & 光罩盒
規格說明
特點概述
半自動載具清潔裝置，操作方便清洗效率高，並能應對多種載具
具快速更換清洗架結構，方便操作員更換
依各載具特性可設定多種配方，配方參數可儲存
以外部四組及內部兩組噴嘴以純水清洗
以高速旋轉/XCDA吹氣/熱風+IR烘烤乾燥載具
UPH 24pcs/hr
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